2023
09/21
本篇文章來(lái)自
捷多邦
光刻技術(shù)就是用光把電路圖畫(huà)在硅片或線(xiàn)路板上。芯片是一種很小很強(qiáng)大的電子器件，它需要用很細(xì)的線(xiàn)條來(lái)畫(huà)電路圖。線(xiàn)路板是一種用來(lái)連接電子器件的平板，它只需要用比較粗的線(xiàn)條來(lái)畫(huà)電路圖。因此，芯片和線(xiàn)路板的光刻技術(shù)有以下幾個(gè)區(qū)別：
- 光源不同：芯片需要用短波長(zhǎng)的光，如紫外光、極紫外光等，這樣才能畫(huà)出很細(xì)的線(xiàn)條。線(xiàn)路板可以用長(zhǎng)波長(zhǎng)的光，如可見(jiàn)光或近紅外光等，這樣就比較容易穿透厚層的光刻膠。
- 光刻膠不同：芯片需要用正性光刻膠，即曝光后可溶解的光刻膠，這樣才能畫(huà)出復(fù)雜的電路圖。線(xiàn)路板需要用負(fù)性光刻膠，即曝光后不可溶解的光刻膠，這樣才能畫(huà)出簡(jiǎn)單的電路圖。
- 掩模不同：芯片需要用石英玻璃作為掩模（模板）的材料，這樣才能保證電路圖的精確傳輸。線(xiàn)路板可以用聚酯薄膜或金屬薄膜作為掩模（模板）的材料，這樣就比較便宜和方便。
- 成像方式不同：芯片需要用投影式或掃描式的成像方式，即通過(guò)物鏡或掃描器將掩模上的圖案縮小或掃描到硅片上。這樣才能實(shí)現(xiàn)高精度、高效率、高均勻性等效果。線(xiàn)路板可以用接觸式或近接觸式的成像方式，即將掩模直接與線(xiàn)路板接觸或靠近，并通過(guò)紫外燈管將圖案曝光到線(xiàn)路板上。這樣就比較簡(jiǎn)單、快速、節(jié)能等效果。
the end
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