長(zhǎng)期以來(lái)，全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)被荷蘭ASML、日本JEOL等少數(shù)企業(yè)壟斷，形成 “技術(shù)壁壘+價(jià)格壟斷”的格局——國(guó)際主流電子束光刻機(jī)單臺(tái)售價(jià)超2億元，且對(duì)技術(shù)輸出設(shè)置嚴(yán)格限制。而浙江大學(xué) “羲之” 光刻機(jī)的應(yīng)用，正打破這一格局，為全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)注入 “中國(guó)力量”。
“羲之”的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在 “精度+效率+成本” 三重維度：0.6nm 定位精度超越日本 JEOL 設(shè)備（±5nm），3 倍加工效率領(lǐng)先荷蘭ASML同類產(chǎn)品，且因78%的國(guó)產(chǎn)化率，設(shè)備價(jià)格較國(guó)際主流產(chǎn)品低 30%，這種 “高性能+低價(jià)格” 的組合，已吸引東南亞、歐洲的中小芯片企業(yè)關(guān)注，目前已有 3 家海外企業(yè)表達(dá)合作意向。
更重要的是，“羲之” 的技術(shù)路線為全球光刻機(jī)發(fā)展提供了新方向。傳統(tǒng)光刻機(jī)依賴復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)與掩膜技術(shù)，而 “羲之” 采用的電子束無(wú)掩膜直寫(xiě)技術(shù)，避開(kāi)了光學(xué)元件的技術(shù)瓶頸，且更適配量子芯片、先進(jìn)封裝等新興領(lǐng)域的制造需求。這種技術(shù)創(chuàng)新，有望推動(dòng)全球光刻機(jī)從 “光學(xué)時(shí)代” 向 “電子束時(shí)代” 轉(zhuǎn)型。
隨著 “羲之” 逐步打開(kāi)國(guó)際市場(chǎng)，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的國(guó)際影響力也將提升。線路板作為芯片應(yīng)用的配套環(huán)節(jié)，將伴隨國(guó)產(chǎn)芯片、設(shè)備的出口走向全球 —— 海外芯片企業(yè)采用 “羲之” 制造芯片后，可能優(yōu)先選擇適配的國(guó)產(chǎn)線路板產(chǎn)品，線路板企業(yè)可借勢(shì)拓展國(guó)際高端市場(chǎng)，提升全球份額。
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